1.聚焦離子束系統(tǒng) 據(jù)相關(guān)介紹表明聚焦離子束系統(tǒng)應(yīng)用主動防震臺有助于大幅度提升蝕刻、沉積、離子注入的加工質(zhì)量。因?yàn)椴糠志劢闺x子束系統(tǒng)在加工時(shí)容易受到地表震動或者火山噴發(fā)等異常環(huán)境的影響,這就容易使蝕刻、沉積、離子注入等加工出現(xiàn)偏差,而隔離震動后的加工效果將會得到提升。 2.掃描探針顯微鏡 主動防震臺還可容納并擴(kuò)展至掃描探針顯微鏡。有許多科研人員在進(jìn)行納米尺寸以及分子水平觀察時(shí)會在不經(jīng)意間受到某些震動的影響,而主動防震臺的六個(gè)自由度防護(hù)功能將會隔離振動信號,并且通過相反信號緩解并降低它的影響力。 3.電阻拓展測試系統(tǒng) 據(jù)調(diào)查反饋近些年主動防震臺在電阻拓展測試系統(tǒng)中的應(yīng)用率也越來越高。電阻拓展測試系統(tǒng)在進(jìn)行超聲波測距或者信號采集時(shí),若是有震動干擾,容易導(dǎo)致測試系統(tǒng)的參數(shù)出現(xiàn)微小浮動,而這種微小浮動也有可能導(dǎo)致信號采集數(shù)據(jù)失效或者電阻拓展試驗(yàn)失敗。 主動防震臺的強(qiáng)大防震能力已得到科研人員與市場的認(rèn)可與贊許。特別是那些性能可靠的主動防震臺更是粉絲量爆漲,據(jù)不完全統(tǒng)計(jì),主動防震臺較為經(jīng)典應(yīng)用類型除了包括聚焦離子束系統(tǒng)、掃描探針顯微鏡以及電阻拓展測試系統(tǒng)外,還包括掃描隧道顯微鏡以及晶圓探測器等。